具体工序从这个表看不出来,你要问一下现场人员具体变更情况
这个表格是一个设备参数表,用于记录不同工序中使用的设备的具体参数。表格中的每一行代表一个特定的设备,而每一列则代表设备的某个特定参数。下面是对表格中各列的解释:
工序:表示设备所属的工序编号。
晶数量:可能是指该工序中使用的设备数量。
设备编号:每个设备的唯一标识编号。
设备尺寸:包括长(mm)、宽(mm)、高(mm),表示设备的物理尺寸。
电压(V):设备运行所需的电压。
单/三相:指明设备是单相还是三相电源。
最大功率 (kW):设备的最大消耗功率。
平均功率(kw):设备在正常运行时的平均功率消耗。
平均洗量 (l/min):可能是指设备在单位时间内的平均清洗量。
压力(bar):设备运行所需的压力。
平均流量 (l/min):设备在单位时间内的平均流量。
FACILITY:这一列可能是指设备的辅助设施或功能,如CDA(冷却干燥空气)、N2(氮气)、O2(氧气)、S14(可能是某种特定气体或液体)、NH3(氨气)、N2O(一氧化二氮)、At(氩气)等。
GASES:这一列可能是指与设备相关的气体参数,如流量、压力和接头形式。
表格中的"UM"可能是指“单位”(Unit),而">1 UM +"可能表示该设备或参数有多个单位或需要额外的单位。例如,如果一个工序需要多个设备,那么在“晶数量”列中会显示设备的数量。